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1.水環真空泵是一種變容積泵,可以抽除易燃、易爆及腐蝕性氣體,還可以抽除含有灰塵和水分的氣體。該種真空泵具有結構簡單、易維修、磨損小、安全性高、不會污染被輸送氣體等優點,缺點是效率不高,且獲得真空度不高(粗真空)。水環泵的主要原料為鑄件,容易加工,屬于勞動密集型產品,因此國產產品相比進口泵有價格優勢,目前應用范圍較廣。
2.旋片真空泵是最基本的真空獲得設備之一,它是一種油封式機械真空泵,適用于密閉系統的氣體抽取,如真空包裝、真空成形、真空吸引等,但是不可用于抽除含氧量高、對金屬有腐蝕性、可與泵油起化學反應、含有顆粒塵埃的氣體,也不能抽除水或其他液體。旋片泵具有體積小、重量小、噪音低等優點,能夠獲得較高的真空度。
3.滑閥真空泵屬于一種油封式變容真空泵,可以用來抽取一般性氣體或者含有少量氣凝性氣體,相比旋片泵,具有可以在高壓強下工作(104Pa)、抽氣量大、可以在較惡劣的工況下使用和經久耐用等優點,主要應用在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等方面?;y泵的鑄件重,加工工作量大。
4.羅茨真空泵具有啟動快、功耗小、抽速大等優點,能夠抽除含有水蒸氣和灰塵的氣體,能敏捷抽除忽然放出的氣體,使用羅茨泵可以減少抽氣時間,提升生產效率。目前國產羅茨泵與進口產品相比市場份額較小。
5.干式螺旋真空泵,是一種相對較新的真空獲得設備,具有可靠性高、使用壽命長、動力平衡性能好、適應強、能夠多相混合輸送等特點,可以抽除有腐蝕性的、有毒、含有粉塵的氣體以及可凝性蒸汽等多種氣體。干泵的應用范圍非常廣泛,代表行業包括半導體行業、化工行業、薄膜工業等,來自這三個行業的需求是干泵市場的主要驅動力。
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